ガラスマスクとワークをアライメントし､微細なマスクパターンを転写する露光機
自動露光機と､手動露光機を取りそろえています。
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基本情報
長年にわたり培ってきた､独創性あふれる光テクノロジーとランプ製造技術の 粋を集めた露光装置群は､エレクトロニクス分野､印刷分野において､数多くの 実績を重ねてきました｡ 新開発の光学系､ミラー技術､効率高いの超高圧水銀ランプ･メタルハライドランプが 織りなす高精度な｢平行光｣と､優れたコストパフォーマンスにより､最先端技術の 発展を支えます｡ 【片面マスクアライナー】 ●半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に 用いられます。 ●研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。 【両面マスクアライナー】 ●ウェハー、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークを アライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストにプロキシミティ 及びソフトコンタクト露光にて、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナー です。 ■□■詳細は、資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■
価格情報
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納期
用途／実績例
●主な応用分野 半導体、LED、各種デバイス、センサウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程など
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企業情報
半世紀以上にわたる歴史のなかで､磨きつづけてきた技術力と製品力｡ これらにウシオ独自の提案力を融合させ､ 次代を切り拓くソリューションとして社会と市場に提供します｡ 今後さらなる進化が期待される光と産業のビジネスドメインで､ 私たちは､持てるすべての力を最大限に発揮し､ お客さまと社会の発展に貢献します｡