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最終更新日：2004年04月13日
インライン液晶注入装置：ＭＡＸ２１インチパネル対応。高真空（10-7Torr）から5kg/cm2の加圧領域間でインライン注入することより、高品質ＬＣＤを安定生産する量産装置です。
液晶注入装置
液晶製造プロセスに不可欠な注入、真空アニール装置です。研究用から量産用まで、２１インチから小型セルまでを標準対象とした各種設備を取りそろえています。
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当社の技術のルーツは真空です。特に真空封止技術はLSIや電子部品などの品質を左右する重要な最終プロセスでそれを高精度、低コスト、高い歩留りで実現したのが当社の真空封止装置で大手半導体メーカーで採用が相次ぎ、当社の技術が高く評価されるきっかけとなりました
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