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最終更新日：2000年09月25日
マスクアライメントは機構は、微動-ピエゾＸＹテーブル、粗動-ステッピングモーターＸＹΘテーブルを使用したナノオーダーのアライメント制度が得られます。
有機ＥＬ真空蒸着装置
ＥＬ用基板とマスクを高真空中でアライメントし、Ｅ-ガン及びＫ-セル等の蒸発源により真空蒸着を行う装置です。
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当社の技術のルーツは真空です。特に真空封止技術はLSIや電子部品などの品質を左右する重要な最終プロセスでそれを高精度、低コスト、高い歩留りで実現したのが当社の真空封止装置で大手半導体メーカーで採用が相次ぎ、当社の技術が高く評価されるきっかけとなりました
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