各種フラットパネルディスプレイ製造装置
ＰＤＰ・ＦＥＤ用連続カード式排気装置：特殊カード搬送システムによるターボ分子ポンプ・パネルへの安全対策を施し、温度均一性も±５℃（パネル面上）を実現しました。
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基本情報
ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）といった新しいディスプレイデバイス用製造装置です。４０〜５０インチクラスのＰＤＰ、１０インチクラスのＦＥＤ製造装置としてオリジナリティに富んだ設備を提供しています。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
未入力
企業情報
当社の技術のルーツは真空です。特に真空封止技術はLSIや電子部品などの品質を左右する重要な最終プロセスでそれを高精度、低コスト、高い歩留りで実現したのが当社の真空封止装置で大手半導体メーカーで採用が相次ぎ、当社の技術が高く評価されるきっかけとなりました