300mmウエハープロセスに対応
ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ
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基本情報
【特徴】 ■メーカー：日立金属株式会社 ■仕様：精度±0.5% 応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール 10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、内面特殊電解研磨仕様 ■継手サイズ：1/4UJRタイプ、各社IGS対応可能 ■ラバーシール、電解研磨レスのSFC1480FRC/ROもご用意 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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企業情報
高圧ガスの高圧（一般的には15MPa：150kg/cm2）から超高真空の真空領域（1x10-9Pa：1x10-11TORR）までの機器（規格品・製作品）をご提供いたします。また、高温領域（2300℃）から極低温領域（-270℃）の雰囲気を装置としてご提供できます。具体的には高温真空熱処理炉や真空低温実験装置までご相談により設計・製作致します。もちろん各種機器のユーティリティー配管、雰囲気用ガス・プロセスガスもご用意させていただきます。何なりとご相談ください。