高解像・鮮明画像による、高精度検査を実現
エキスパンダリング上検査が可能な、ウェハチップ外観自動検査装置
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基本情報
【特徴】 ○特殊高解像ズームレンズ使用による鮮明画像により ウェハー及びエキスパンダリング上のチップ外観自動検査を行う ○500万画素モノクロカメラを搭載。1.5μm/画素の画像分解能が可能 ○自動検査後の光学系倍率を変更した目視レビュー機能など 充実したデータファイリング機能を搭載 ○ウェハサイズ：2.4.6.インチ対応（エキスパンダリング対応） ○ワーク固定：エアー吸着式 ○ワーク移動：X=250mm、Y=150mm、θ=±30 ○500万画素モノクロカメラ採用：分解能1.5μm ○APOズーム光学系採用：視野可変4.5mm〜 ○1画面上の複数チップ一括検査 ○不良チップ自動バッドマーキング及びバッドマーキング判定機能付 ○検査機能 欠け・汚れ、異物・クラック・傷・パターン異常 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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有史以来、人類が積み上げてきた文明に、次の一層の生活様式を求め、技術革新が計れています。 その一方で地球環境と人の心や文化に問い直しも求められております。 私たちはこの“科学技術の進歩”と“人間生活の調和”にロマンを求め、「異体同心」と成ってサービスと情報と技術の提供に限りない創造の徴力を尽くします。
