高速応答性と超高分解能。微小領域の高精度位置決めを実現します。※詳細なテクニカルデータ付きカタログ進呈中
圧電アクチュエータと変位センサの優れた特性を生かし微小領域の高精度位置決めを実現するNS1000シリーズ。 【特長】 ■ストローク30μm以下のステージで構成 ■圧電素子の微小な変位をダイレクトにテーブルに伝える構造 ■高分解能や高速応答 ⇒微小領域の超高精度位置決めに適しています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
※詳細なテクニカルデータ付きカタログ進呈中 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
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納期
用途／実績例
ＨＤＤテスト 光ピックアップ検査、評価 半導体、液晶関連装置 共焦点顕微鏡 干渉計機器 ナノメータポジショニング
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。