低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能！組込可能な小型電子線鏡筒
小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、 既存の装置へ追加する事ができます。 主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速電子回折)、 AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散分光法)、 EELS(電子エネルギー損失分光法))等に応用できます。 超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わせてお使いください。 【特長】 ■低加速・大電流密度 ■静電型採用の為、漏洩磁場が少ない ■超高真空対応(ベーキング温度<150℃) ■省スペースでの取付けが可能(取付フランジCF114) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■加速電圧：～5000V ■プローブ電流：3×10^-12～10^-8A ■最小ビーム径：10nm (加速電圧=5000V、ビーム電流=0.3nA、W・D=8mm時) ■適応真空環境：2×10^-3Pa以下 ■最大ベーキング温度：150℃以下 ■取付形式：CF114フランジ ■重量：約20kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ■既存の装置への機能追加 ■低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
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