『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このようなご要望に応え開発した低騒音型のモータ直結油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）です。また、メンテナンス性を重視した設計になっていますので、日常の保守・点検がたいへん容易です。特に静かさを求められる研究所から各種生産ラインに至るまで、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○低騒音 ○優れたメンテナンス性 ○大気圧付近のような高圧時においても安定した排気が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○最適化設計により低騒音化を実現 ○優れたメンテナンス性 →メンテナンスのために真空配管を外さず、ポンプ本体部分の脱着が可能 （VD151・VD201 は除く） →油交換や日常点検のしやすい、ポンプ油覗き窓、ドレンバルブの採用 ○大気圧付近での排気においても排気速度が低下しにくい強制給油方式の採用 →オプションのオイルミストトラップ・油戻し機構を ご利用いただくことにより、VD301・VD401・VD601 は 大気圧以下の全圧力領域での連続排気運転が可能 ○全機種全閉外扇型3相交流モータに統一 →VD151、VD201 はマルチ電圧対応 →VD301 ～ VD901 は200V級とマルチ電圧を選択可能 →高効率規制（GB3/IE2/EPAct）対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置 ○分析機器・リークテスト装置 ○ガス置換・充てん・真空断熱 ○真空乾燥・凍結乾燥・真空脱気・真空包装・真空吸着・真空 成型、その他各種真空装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
