メンテナンスが容易な構造となっており、ランニングコストの低減が可能です。【アルバック／ULVAC】
G-TRANシリーズの逆マグネトロン型コールドカソードゲージです。 フィラメントを使用しないため、センサの消耗、破損の心配がありません。 また、メンテナンスが容易な構造となっていますので、ランニングコストの低減が可能です。 【特徴】 ○トランスデューサ仕様 →圧力表示器が不要な場合、表示構成上の真空計にかかるコストの 低減化、制御盤まわりの省スペース化、省配線化などを実現 ○メンテナンス性 →測定子をお客様にて簡単にメンテナンス可能な構造 ○フィラメントレス →フィラメントを使用していないので再生が可能 ○制御出力信号 →セットポイント2点の出力可能 ○測定値出力信号 →圧力は0 ～ 10V出力（非線形出力） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○タイプ：センサユニット ○型式：SC1 ○適応測定子：C-21、23、24、25 ○測定圧力範囲：1.0×10^-5～1.0Pa ○測定精度：+100%, －50%（1.0×^-4×1.0×10^-1） ○使用温度範囲：10～40℃ ○測定値出力：非線形出力⇒DC0V～10V（HV-OFFの時、10V） ○SETPOINT1/2調整用出力：非線形出力⇒DC0～10V ○制御入力信号：HV ON/OFF ○出力信号：オープンコレクタ、負論理 ○制御出力信号：放電確認／セットポイント1/2 ○LED表示：パワー、HV、圧力保護、セットポイント1/2 ○電源：DC24V±2V、150mA ○入出力コネクタ：D-sub-15ピン（M2.6ネジ） ○本体質量：430g（測定子含まず） ○付属品：入出力コネクタ1式、取扱説明書1部 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○半導体・電子部品をはじめとする各種真空装置のプロセス制御用に ○炉をはじめとする各種産業機器のプロセス制御用に ○インライン式・枚葉式のように 多くのプロセス室をもつ各種製造装置のプロセス制御用に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
