高圧下での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現【アルバック／ULVAC】
Qulee CGMシリーズは、高圧下（1Pa 以下）での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計／プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。 【仕様】 ○質量分離方式 四重極型質量分析計 ○質量数範囲 1～50 amu ○分解能 M/△M=1M（10% P.H.） ○最大使用圧力 2Pa 2Pa（FC） 1×10－2Pa（SEM） ○リニアリティ 1Pa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○スパッタリング装置に最適 →各種スパッタリング装置のプロセスモニタリングに最適 ○差動排気系不要 →プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要 （1Pa以下測定可能、省スペース化可能） ○表示部一体型の設計 →PCレスでも測定可能 ○簡単操作 →One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要） ○ベーキング対応 →センサユニット接続時で最大120℃の高温ベーキングが可能 （センサユニット分離状態：250℃） ○デガス機能搭載 →電子衝撃脱離方式の採用 ○予防保全機能の充実 →イオンソース、二次電子増倍管の予防保全 分析管のトレサビリティ機能の搭載（特許第5016031号） ○リークテスト機能の充実 →ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能 ○全圧測定 →全圧測定が可能（電離真空計機能） ○Qulee QCS対応 →ソフトウェアが標準搭載（Windows XP/７対応） ○適合規格 →CE標準対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○太陽電池・FPD・半導体などの 各種製造装置（スパッタリング装置）のプロセスモニタリング ○スパッタリング装置の残留ガス分析 ○巻取スパッタリング装置の残留水分管理に ○スパッタリング装置の不純物（H2O）管理に ○各種真空装置のリークテストに ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
