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SCU
最終更新日:2006年11月09日
座標を入力することにより複数点へ正確に移動します。 ボールネジ送り精度補正装置を取り付けているために位置決め誤差が移動距離に関係なく±3μを確保する。 特許出願済み。
一軸アクチュエータ精度補正ユニット
ボールネジとリニアガイドを組合わせた電動アクチュエータ。
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長尺物でもミクロン単位の位置決め精度。 X・Yステージで使用。
今回開発しましたボールネジ送り精度補正装置付電動アクチュエータはボールネジのピッチ誤差、運動の真直性を総合的に補正いたします。したがって精度が必要な場所で誤差がミクロン単位の精度補正が出来ます。又、移動距離が大きくなっても累積はありません。
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