縮小投影型露光装置 Stepper
「ミクロ」から「ナノ」も世界へ
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【特長】 ○等倍密着露光から縮小投影露光へ ○新しい縮小露光装置の導入により更なる微細化、高精細、高品位なパターンを提供いたします。 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
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ナノの世界のエキスパート。 ロータリーエンコーダーガラスディスク、フォトマスク・光学目盛板などの薄膜製品及び光学部品等、ナノの世界の製造技術には自信があります。
