ウェットプロセス装置 K-150/200 (塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄)
「K」シリーズは新技術・新機能。新ワークへのアップグレードがより簡単・低コストで実現出来る拡張型ウエットプロセッサーです。 レジスト塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄と、ウエットプロセスであればどの様な仕様でも製作可能です。 必要とされる機能をお客様との御打合せで作り上げていきますので、過剰スペックではなく、低コストで最適な装置をご提供致します。 また、設計、製造ともに自社で行っておりますので、装置導入後の仕様変更もスピード対応します。
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基本情報
【特長】 ○魅力的な価格設定 ○小型化による省フットプリント ○レトロフィット接続による将来的な機能強化の容易性(ロボット後付けによる自動化、現像、塗布装置の場合ベークユニット追加、その他、各種薬液ライン追加など) ●その他機能や詳細については、カタログをご覧下さい。
価格情報
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納期
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用途/実績例
大学や企業の研究開発から、少量多品種の生産用途など 国内で多数の実績がございます。 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧下さい。
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株式会社カナメックスは設立以来、半導体業界における、フォトリソ関連のウェット処理プロセス装置の設計・製作をしてまいりました。今日のエレクトロニクス業界は半導体前工程/先端実装技術/FPD分野において、デバイス基板はますます薄型化、大型化、高次元化し、さらに高機能化するデバイスの製造プロセスに対応する創造性のある製造装置が求められています。 弊社は、このような業界のニーズに対応する為、常にお客様と共にあり、顧客満足度の向上を図り、常に研究開発マインドを持ち続け、業界のニーズに合った製品とサービスを提供できるよう創造性のある技術を構築します。そして、活性化のある企業活動を経営理念とし、社会の発展に貢献できるよう努力してまいります。