世界最小径クラス!3.5mm!半導体製造設備の特殊ガス配管に好適。
半導体製造装置や液晶パネル製造装置などの高精度精密機器、医療製薬機器、バイオ関連機器、食品機器の設計にはコンパクト、耐久性、耐圧性、安全性など様々な厳しい要素が求められます。そんな設計者の悩みを少しでも解消するために開発されたのが南国フレキ工業のマイクロフレキシブルチューブです。
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基本情報
高真空から0.3MPaまでの圧力に対応。 -196℃から450℃までの温度に対応。 くい込み継手と接続できます。 高耐蝕性のSUS316Lを標準採用。 屈曲半径が小さく、配管レイアウトが自由自在。 高い溶接技術で高気密性を保てます。 配管の熱膨張、低温収縮を吸収。 ●詳細は資料請求、またはカタログをご覧下さい
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用途/実績例
半導体製造装置の配管部品や、特殊ガス配管の誤差調整、振動緩和、変位吸収に好適です。
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当社は昭和46年にフレキシブルチューブ及びベローズの組込み作業を主に創業し、その後、品質・納期・価格などお客様のニーズに対応すべく、日々、「設備・改善・改革」を合言葉に取り組んで参りました。その結果、素管からの一貫生産によって、高品質・短納期・低価格が実現し、その製造力と独自技術は皆様から高い評価を得るまでになりました。