研究開発に！試作に！実験に！当社の加工技術をお役立て下さい
当社の『パターニング加工』では、8,12インチデバイスライン、MEMS デバイスライン、6インチ以下デバイス試作ラインにて各プロセスの加工を アシストする受託ファンドリーサービスを行っています。 半導体素子、MEMS構造、めっき、エッチング（Deep-RIE、Dry＆Wet)用の レジストパターニングの手法としてアライナー、ステッパー、EBでの 露光・現像が可能です。 また、ポジ型、ネガ型、ドライフィルム、薄膜、厚膜用各種レジストを 所有し、ポリイミドのパターニングも可能です。 【代表的な加工プロセス】 ■スパッタ ■蒸着 ■CVD ■CMP研磨 ■Deep-RIE＆ICP など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
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アシストナビはお客様からのご要望を第一とし、 スピーディーな対応と、チャレンジ精神をモットーに、 ご満足頂ける製品とサービスの提供に努め、 常に市場変化に対応できる柔軟な体制と柔軟な発想で望みます。 Asisit Navi places first priority on the customer satisfaction with speedy response and high satisfaction standard set for our service and products. Assist Nave serves our customers with flexible ideas, and yet keeps with the latest market trends.