ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップ
高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップを有しており、補助ポンプも油回転及びドライポンプの選択が可能です。お客様のニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです。
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基本情報
【特徴】 ■高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応 ■空冷式により水配管不要、保守の負担を軽減 ■場所を選ばない100V 電源 ■メインフレーム・ベースにアルミを採用、軽量化を実現 ■使いやすさを追求したコンパクト設計 【ラインナップ】 ■ターボ分子ポンプ排気システム<TPS>シリーズ ・MZまたはスクロール型ドライ補助ポンプと組合せてフルドライの排気系に ・起動・停止に要する時間が短い ・不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用 ■油拡散ポンプ排気システム<DPS>シリーズ ・より低コストで高真空雰囲気を得られる ・三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単独排気運転も可能 ・保守点検が容易 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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企業情報
現在真空技術は、宇宙開発・エレクトロニクス・エネルギー・理化学・電気工業・医薬・食品・光学・自動車・金属・鉄鋼等、産業分野全般へと大きな広がりを見せております。 これらの技術は、産業界のあらゆる分野の研究開発から生産プロセスまで、すべての段階において多大な貢献を果たしております。またその成果は私達の生活の隅々にまで浸透しています。 PHIL佐藤真空では、75年にわたり真空機器メーカーとして技術革新を続け、真空ポンプ、真空計測器、各種真空部品を生みだすコンポーネンツ技術、そしてその真空技術を利用した真空装置群、真空乾燥、真空ベーキング、真空熱処理、真空蒸着、真空成膜、超高真空排気、真空注入、真空含浸等真空総合メーカーとして、常にユーザーの立場から研究開発を進めてまいりました。 PHIL佐藤真空の「お客様第一主義」を原点とした企業活動は、そのPHILosophy の経営理念に基づき真空技術のもつ無限の可能性を追求し、ユーザーニーズにマッチした製品をご提供することが、PHILの使命であると考えております。