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【分析事例】SIMSによるMEMS中ドーパントの三次元分布評価

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最終更新日:2025年03月13日

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます

市販品MEMSについて、BとAsの三次元イメージングSIMS測定を行いました(測定領域:75μm角、深さ:約1.5μm)。測定後のデータ処理により、任意断面・任意深さの面分布、任意領域の深さ方向分布、任意箇所のラインプロファイルの抽出が可能です。 注) イオンビームで試料を掘りながら、深さ方向にイメージを取り込みますので、破壊分析となります。

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C0173.jpg

【分析事例】SIMSによるMEMS中ドーパントの三次元分布評価

C0173.jpg
C0173.jpg
  • 関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/15…
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MSTは受託分析サービスをご提供する財団法人です。 TEM・SIMS・XRDなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 知識豊富な営業担当が、適切な分析プランをご提案。貴社に伺ってのご相談も、もちろん可能です。 ISO9001・ISO27001取得。 製品開発・不良原因の解明・特許調査はぜひご相談ください! MSTは、あなたの「困った!」を解決へと導きます。

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