300mmウェハを１面4秒で検査可能
株式会社テクノスの自動外観検査事例「半導体」をご紹介します。
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基本情報
【特徴】 ◯300mmウェハを１面4秒で検査可能 ◯ソーマークも安定して検出可能 ◯端面エッジのクラック、カケも検査可能 ◯表面はもちろん粗目面も対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
シリコンウェハ、ダイシングシート、素ガラス、ポリッシングシート、 シリコンウェハエッジ、等
企業情報
外観検査エリアとパターン検査のうち対象となるパターンが同一のトレンドを持っているものに関してのシステムを得意分野としています。 自動車のボディの外観やその素材である鉄を初めとするステンレス、銅、チタンなどの検査やガラス・タイルなどの検査、紙、フィルムなど素材からプロセス、製品に至るどのラインにでも設置し、その外観の検査を行うことが出来ます。 テクノスは目視を遥かに超えた性能を独自開発のインライン用高感度電子カメラと毎秒８８億回の演算を行う独自開発のスーパーコンピュータにより実現し、人間の目で見える外観検査、周期を持つパターン検査を汎用システムで置き換えることを実現しました。