高い信頼性を備えた製品で効果的な設備投資を実現し、 ビジネスコストの削減と生産ラインの活性化を図ります。
X線自動薄膜測定装置 RVX1000/5000は、先進デバイスで使われる半導体膜の膜厚、組成をウェハ前面において短時間で測定、解析を行う装置です。高い信頼性の独自開発によるハードウェア、光学系、アルゴリズムによりXPS技術をウェハ測定に最適化した装置です。
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