スループットが大幅に向上
半導体製造装置に使用される、(株)ピュアロンジャパン製 ベント用フィルターです。ロードロック室(Load lock chamber) や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、Pureronのベント用フィルターを使用することで、スループットが大幅に向上します。
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基本情報
【特徴】 ○材質は全てSUS316Lで構成されています。 ○最高使用温度は400℃です。 ○濾過精度は0.003μmです。 ○コップ型形状のため先端からガス噴射が可能です。 ○特注品対応可能です。 ●詳しくはお問い合わせください。
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用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 １.（株）ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・ＰＴＦＥガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム ２.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品