新世代ＭＥＭＳ製品の開発・製品化を進めております
単一工程は勿論のこと、デバイス設計・シミュレーション・原理試作・プロトデバイス試作・量産までをトータルでサポートいたします。また、外部ファブ、大学機関との連携により、競争力の強い価値あるサービスをご提供いたします。また半導体プロセス技術ではなしえないＭＥＭＳ製造特有のプロセス（マイクロマシニング）を保有します。
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基本情報
【特徴】 ○幅広いサポート力 ○多種多様なＭＥＭＳ特有プロセスに対応 ○スピーディな対応 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
価格情報
****** お気軽にお問い合わせください。
納期
※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
【用途】 ○成膜 ○フォトリソ ○エッチング ○ウエハ接合 ○実装 ○研磨 ○ドライ処理 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
企業情報
「ＭＥＭＳ」とは、「Micro Electro Mechanical System」の頭文字から取ったものです。 LSIのように電子に偏りすぎても、マイクロマシンのように機械的な動きだけでもMEMSとはいい難いし、ましてマイクロセンサーだけでは付加価値が少ない。やはりシステム化されてこそMEMSの本領といえます。何しろ、顕微鏡でしか見えない領域で動きがあり、その動きが映像をつくり、ロボットの触覚となり、白動車の動きをコントロールします。30年以上前に『ミクロの決死圏』というSF映画で、ミクロサイズの潜水艇が人間の体内を動き回るのを興奮して観た記憶がありますが、今やセンサーが血管の中を通り、脳幹部の微細血管まで往来できるようになってきています。メカニズムを極限まで微小化させる技術は、 MEMS以外にありえず、あらゆる産業のシステムに付加価値を与える重要な基幹技術として注目されています。我々は、ＭＥＭＳ製造装置を多数所有して、物つくりのために東北大学とケミトロニクスグループ各社によって蓄積された技術を機能的に活用し、新世代ＭＥＭＳ製品の開発・製品化を進めております。
