優れた熱伝導性、高い電気絶縁性、およびシリコン（Si）に近い熱膨張率の特性を持ち、高熱伝導性材料として注目されています。
窒化アルミニウムは、その高熱伝導性、高耐食性を活かして、半導体製造装置用のヒーターや静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレートなどで使用されています。 また、MRI等の医療機器用の部品にも使用されています。 MARUWAでは長年培ってきた材料技術をベースに、研究開発・素材作製・機械加工まで一貫した体制を確立しています。 独自のホットプレス法と様々な機械加工を用いた生産により、半導体製造装置や医療関連における最先端の技術要求を満たすことが可能です。
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基本情報
【特長】 ・金属アルミニウムに匹敵する優れた熱伝導率 ・シリコンに近い熱膨張率 ・高い電気絶縁性 ・フッ素系ガスなどに対する耐プラズマ性 ・欠陥となるボイドがない緻密な焼結体 ・目的に応じた材料選択（高熱伝導タイプ／高純度タイプ） ・半導体製造装置関連に対応したサイズ 【推奨サイズ】 φ180～380mm × 1～10ｍｍt （将来的にφ550対応予定） ※上記サイズ以外もカスタム対応いたします。 ●その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、もしくはお問合せください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
【用途】 ・半導体製造装置用部品（ヒーター、静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレート） ・医療機用部品
企業情報
MARUWAという社名には、”和をもって皆で力を合わせる”という意味が込められております。そして、MARUWAのロゴには希望を表すと言われるブルーを用い、社名の由来でもある「人と人との和・つながり・絆」が表現されております。 当社は人を大切にしております。 企業は人個々の長所・個性を大切にそして活かしてこそ継続的な成長・発展が望めるものであり、企業のためにこれらを抑え、歪めることはあってはならないと考えております。当社の成長・発展が、社員はもとより地域社会や多くの皆様の幸福に結び付く事を願い、日々の事業活動に全力で取り組んでおります。 近年、私たちの暮らすこの地球における自然環境保全の重要性が様々な面から叫ばれてきております。当社のセラミック製品がこれら自然環境のために使用される機会が増え、その要求ならびに新たな製品への要請・期待がますます強くなってきていることはとても幸せに感じております。