圧電応答顕微鏡モジュールにより、ナノスケールでの電気機械的測定が可能になります。
ピエゾフォースモジュールは、強誘電体やマルチフェロイックを含む圧電体上で、超高感度でクロストークフリーな測定を行うために、高い探針バイアス電圧印加（最大± 220 V）を可能にします（MFP-3D Infinityでは最大±150 V）。MFP-3D Originを除く全MFP-3D AFM/SPMで利用可能。
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オックスフォード・インストゥルメンツは、英国のオックスフォード大学から独立し、以来60年以上にわたりイノベーションは当社の成長と成功の原動力となってきました。次世代半導体・新世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学などアプリケーションは非常に幅広く、よりグリーンな世界の早期実現をめざす様々なプロジェクトに当社のコア技術が採用されています。