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ウエハチップ外観検査装置 OVS-5000

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最終更新日:2011年03月02日

オカノ電機株式会社
オカノ電機株式会社
  • 公式サイト

半導体業界 (外観検査)

XYθステージにセットされたウエハチップをラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。

    その他
1_OVS-5000.jpg

ウエハチップ外観検査装置 OVS-5000

1_OVS-5000.jpg
1_OVS-5000.jpg
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基本情報

【特徴】 ○複数チップを同時検査が可能 ○カラー空間にて良品範囲を指定することで詳細な設定が可能 ○品種切り替えはソフトで対応可能 ○検査結果はファイルに出力可能(MAPファイル) ○MAPファイル入力可能(検査結果に書き換え出力) ○顕微鏡対物レンズを使用していることで倍率変更が可能   ※可能倍率2x~100x ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

価格情報

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用途/実績例

【用途】 ○検査項目   ・変色   ・異物   ・キズ   ・割れ   ・カケ ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

企業情報

オカノ電機株式会社

オカノ電機株式会社

電子部品・半導体

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オカノ電機は創業以来「技術の力で顧客の期待に応える」という理念を掲げ、 お客様とともに歩んでまいりました。 今後もお客様のニーズに的確に応え常に高品質な製品を提供することを目指し、 さらなる技術力の向上に努めてまいります。また、顧客の発展に寄与することで 社会貢献することを使命として取り組みを進めてまいります。 オカノ電機は100年企業を目指し、次の50年も躍進し続けます。

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