表面改質に適したバッチ式のプラズマ洗浄装置（プラズマクリーナー）です。
本装置では、RIEモード、プラズマモードから処理モードを選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理を行うことが可能です。また、省スペースで場所を選ばす、卓上型で非常にコンパクトな設計のプラズマクリーナーです。
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基本情報
【特徴】 ○コンパクトな設計で卓上に設置できます ○自動運転及びタッチパネルによる手動運転が可能です ○プロセスパラメーターを保存できます（100レシピ、各10ステップ） ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
価格情報
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納期
※●お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
【用途】 ○BGA、CSPなどのプラスチックパッケージ、リードフレームの表面洗浄 ○光学部品、金型などの精密洗浄 ○有機フィルムなどの表面改質 ○フォトレジストアッシング ○有機汚染層の除去、接着力向上全般 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
企業情報
ナノレベル~マイクロレベルの薄膜形成および加工の技術に優れ、研究開発用途から生産用途までの装置・技術提供に定評があります。加えまして、今後の市場拡大が見込まれております光源(LED・半導体レーザ)などのオプトエレクトロニクス分野に特化しております。
