材料を創設し、いつの日かを創造する
ポアフリー系セラミックス材を用い、究極の平面平滑性を追求した超精密な真空チャックです。 各種ウエハーに対応し、現在主流のφ300mmサイズにおいてもその平滑性を保証します。
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基本情報
【特徴】 ○高精度：平面度0.2μm,L/F0.1μm以下 ○材質選択性：結晶化ガラス、SiC、導電性セラミックス ○形状制御：ウエハーの形状に応じたチャック形状 ○低パーティクル性：ポアフリー、Double-Polishing ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
・ウエハー検査機用などの真空吸着式チャック ・ウエハー加工用固定冶具
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企業情報
NTKセラテックはセラミックスを軸にビジネスを展開するメーカーです。 「セラミックスで創造と挑戦を楽しむ」をスローガンとして掲げ、 ユーザーお一人お一人のニーズに耳を傾け、 その問題解決に邁進し、 お役に立ちたいと考えています。 半導体・液晶製造、電子機器をはじめとする 時代の最先端分野において、 エンジニアリング・エレクトロニクスセラミックスによる トータルソリューションを追求し、 常に革新的技術／材料を開発、提供します。 当社は良き企業市民として、お客様、地域社会、当社に関わる全ての皆様に愛される企業を目指して、社会に貢献します。
