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燃焼式排ガス処理装置 GUARDIAN

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最終更新日:2023年04月17日

小池酸素工業株式会社
小池酸素工業株式会社
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燃焼式のパイオニア

●CVD、Dry Etcherからの様々な排ガスに対応。 ●ガスレシピに応じてG型F型をラインナップ。

    ガス回収/処理装置有害物質処理
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燃焼式排ガス処理装置 GUARDIAN

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基本情報

●G型GUARDIAN   1.火炎過流で大流量も完全燃焼   2.優れた粉体処理   3.ガス導入は大口径のマルチポート   4.あらゆるガスを導入可能   5.シンプルで取扱いが簡単   6.短時間の立上げで排ガス処理が可能 ●F型GUARDIAN   1.PFCガスを99%以上分解   2.高温燃焼可能なバーナー   3.低燃費   4.シンプルな構造   5.Dry Etcherの排ガス処理に最適   6.優れた腐食対策   7.卓越した高温技術   8.後段のスクラバーでHFを除去

用途/実績例

半導体製造メーカー、液晶パネル製造メーカー

企業情報

小池酸素工業株式会社

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産業用機械

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小池は1918年(大正7年)の創業以来、「ガスエネルギー」を利用した工作機械のオピニオンリーダーとして、基幹産業発展の一翼を担って参りました。 その間、時代の進歩とともに、他に先駆けて「プラズマ」「レーザ」を利用した切断機を開発し、NCによる高度な自動システムを製品化して参りました。また同時にお客様のあらゆるご要望にお応えできるよう、「ガス・溶接・切断から関連機材まで」一貫したトータルシステムとしての体制を確立するに到っております。

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