8inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【主仕様】 1.ストローク250mm 2.対象サイズ6inch、8inch 3.対象材質ウエハー 4.ディップ速度0.1mm/secから10mm/sec 5.塗布液循環部有 6.塗布液温度管理無 7.フィルターメッシュ0.05μm 8.乾燥部無 9.乾燥温度無 10.ヘパユニット有 11.装置サイズ(概寸)W:904×D:840×H:1070mm
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる
カタログ（6）
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企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!