8inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【主仕様】 1.ストローク 250mm 2.対象サイズ 6inch、8inch 3.対象材質 ウエハー 4.ディップ速度 0.1mm/secから10mm/sec 5.塗布液循環部 有 6.塗布液温度管理 無 7.フィルターメッシュ 0.05μm 8.乾燥部 無 9.乾燥温度 無 10.ヘパユニット 有 11.装置サイズ(概寸) W:904×D:840×H:1070mm
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる
カタログ（6）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!