油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得 NRTL / SEMI-S2 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
半導体製造 電子銃排気、イオン源排気 FPD製造 表面処理、表面改質 各種電子部品製造 管球製造、光学部品製造 加速器、放射線施設、核融合研究 熱処理 研究開発 その他詳細はお問い合わせください
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企業情報
「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」をお客様に提供する！ 大阪真空は、お客様に満足頂く真空機器をご提供するために、 「カスタマイズ化」・「高度安全対応」・「未来志向」・「カスタマーサポート体制」 を、４大目標として掲げ、その具体化とより一層の深化に邁進しています。