シングルラングミュアプローブはOリング軸シール方式により、真空容器内で直線移動可能な形状になっています。
プロセス用に限定し手動操作とすることにより簡素化しました。屈曲型は関節により先端を任意に曲げられる構造とし、フランジの直進方向以外の測定を可能にしています。 関節部は真空外から操作できませんが探針部全体が回転しますので円を描けます。直線移動とあわせ広い範囲の測定が可能です。どちらも規定のストローク範囲内を直線で移動させ、測定したい部分１点１点を測定していきます。
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基本情報
【特徴】 ○アリオスではラングミュアプローブを2種類用意しています。 ・シングルラングミュアプローブ ・マルチポイントラングミュアプローブ ○さらにシングルラングミュアプローブには扱いやすい直線導入型と 広い範囲の測定が可能な屈曲型（直線または回転付き）があります。 ○電源とあわせ簡単にプラズマ密度測定装置が構成できます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
1972年、初代社長堀田が自宅の玄関先を作業場に 大誠産業株式会社を設立して以来、技術開発、 研究開発の仕事に打ち込んでまいりました。 当初は、気象研究所のポラックカウンタなどの開発に携わり、 空気を科学する仕事から始まりました。 その後、リークデテクタのメンテナンスサービスを 始めるなどして、次第に真空の世界に仕事を広げて行きました。 創立10年頃から超高真空の仕事が増え始め、 創立15年頃には小型の装置を製造できるようになりました。 現在、仕事の守備範囲は格段に増え、超高真空、 MBE、CVD、ECR、RFラジカル源など単に真空装置に止まらず、 各種のプラズマ、イオンあるいは電子を利用した 機能部品の開発を進めております。 今後、真に先端技術の世界で通用する 小企業を目標にしたいと考えております。
