【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ!
エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか各方面にご利用いただいているポンプです。
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基本情報
【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを運転するマルチシステム ◆クライオポンプ群の集中管理・制御システム「UCIS/ユーシス」 さらに、再生時間短縮のためにバンドヒーター、ノイズに強いクライオ温度計、水分の多い場合の 排気にスーパートラップ、自動再生装置など豊富なオプションをそろえております。 ※詳細はお問い合わせください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。