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最終更新日:2011年08月04日

佐藤真空株式会社
佐藤真空株式会社
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高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置。油拡散ポンプ排気系とターボ分子ポンプ排気系の2タイプがあります。

高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置。油拡散ポンプ排気系(×10^3Pa)…DH-DPタイプ真空乾燥器。ターボ分子ポンプ排気系(×10^4Pa)…DH-TPタイプ真空乾燥器。 ■生産機として設計された自動式真空乾燥・真空ベーキング装置です。 生産ライン用として求められる信頼性、安全性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 本シリーズの2 タイプは、油拡散ポンプとターボ分子ポンプという、到達圧力だけでなく方式も異なる真空ポンプをメインとしておりますので、クリーン度を要求されるケースなど、目的・用途に合ったタイプからご選択ください。

    真空機器
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真空乾燥・真空ベーキング装置 DH "Fairy"Type

DH-DP.JPG
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基本情報

■加熱機構 真空中で高温を得るために、各棚板下に取り付けたシースマイクロヒーターを加熱源とする内部加熱方式。ワークにより、槽内各壁面にヒーターを設置する方式も可能。外部加熱方式に比べ、設定温度までの昇温時間が短縮され、槽内温度分布も向上。 ■加熱制御 槽内に設置された各ヒーターごとに温調計を設け個別にPID制御し、温度制御が正確、確実。また、プログラム温調計により昇温パターンを設定することも可能。 ■操作性 スタートボタンON で、シーケンサプログラムにより真空排気、昇温、バルブ開閉など各機能を自動運転。グラフィックパネル上に機器系統、作動機器のON/OFFが表示され、運転状況も容易に確認。個別運転時でも各インターロック機能により操作ミスを防止。 ■安全性 自動運転時に装置異常を検出した場合、異常内容( 冷却水量低下、エア圧力低下、過昇温etc.)により、運転全停止または一部機能停止して、異常内容をグラフィックパネル上でランプ表示。停電時には主弁を閉じ真空加熱槽の圧力をキープする(大気リークによるワークの酸化防止)とともに、ポンプリーク弁を開けポンプオイル逆流を防止する保護機能を組込み。

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佐藤真空株式会社

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現在真空技術は、宇宙開発・エレクトロニクス・エネルギー・理化学・電気工業・医薬・食品・光学・自動車・金属・鉄鋼等、産業分野全般へと大きな広がりを見せております。 これらの技術は、産業界のあらゆる分野の研究開発から生産プロセスまで、すべての段階において多大な貢献を果たしております。またその成果は私達の生活の隅々にまで浸透しています。 PHIL佐藤真空では、75年にわたり真空機器メーカーとして技術革新を続け、真空ポンプ、真空計測器、各種真空部品を生みだすコンポーネンツ技術、そしてその真空技術を利用した真空装置群、真空乾燥、真空ベーキング、真空熱処理、真空蒸着、真空成膜、超高真空排気、真空注入、真空含浸等真空総合メーカーとして、常にユーザーの立場から研究開発を進めてまいりました。 PHIL佐藤真空の「お客様第一主義」を原点とした企業活動は、そのPHILosophy の経営理念に基づき真空技術のもつ無限の可能性を追求し、ユーザーニーズにマッチした製品をご提供することが、PHILの使命であると考えております。

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