良品・不良品の判別に。簡単操作・自動補正・最大１０スペック設定可能
検査装置「パターン検査装置」は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査時にその 登録画像と比較することにより、画像表面に付着している異物、傷、汚、パター欠陥 を検出します。またアライメントパターンの位置を表示し、寸法検査も行います。検出したパターンや異物等の面積、サイズ（最大径）を測定し、その検査結果データを測定条件と比較し、良品／不良品の判別をします。検査結果データはファイリングし蓄えます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○検査結果データを測定条件と比較し、良品・不良品を判別 ○検査結果データはファイリング可能 ○一画面だけでなく、プローバ（又はＸＹステージ）と連動させることにより、全表面を移動しながらの検査が可能 ○検査時の画像の位置ずれを自動的に補正するので、マスタ画像と検査画像が多少ずれていても検査可能 ○スペック指定機能を使い、画面のエリア別に異物判定条件を設定することも可能（最大１０スペック） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。