ごみをまき散らさないクリーンルーム対応ベルヌーイチャック
クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、気体を噴出することにより効率よく、ワークを非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、搬送します。 クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防げます。 そのためクリーンルーム内でのウエハ、ガラス基板他の非接触搬送に用いることが可能です。
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基本情報
クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、基体中央部にクッション室をり具えており、その中央に設けたノズルより縦旋回に気体を噴出することにより効率よく、エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。 クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防げます。 そのためクリーンルーム内のウエハ、ガラス基板の非接触搬送に用いることが可能です。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
シリコンウエハ、サファイアウエハ、太陽電池、液晶ガラス基板、フィルムの非接触搬送。
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
