最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大３軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応しています。
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ピエゾアクチュエータによる精密位置決め装置の専門メーカーです。当社のピエゾドライバ・ピエゾステージは全て自社開発品です。 ピエゾに熟知した技術者により開発された製品は、皆様のお役に立てると確信しております。 精密位置決めシステムについて、お困りのお客様は、是非一度、メステックにお問合わせ下さい。
