ＦＰＤのスリップを避けてほこり発生や静電気発生を限りなく抑制する完全角度位置同期搬送モーションコントローラ
モータ間、モータグループ間(搬送ステージ間)の同期、非同期の制御をしながら、１ｍｓ周期の完全角度位置指令同期制御のFPD搬送用モーションコントローラ
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基本情報
１ｍ制御周期。 最大１６軸を複数の軸グループ（搬送ステージ）に分けて、 そのグループ間、そのグループ内で、角度位置指令同期が可能。 軸グループ（搬送ステージ）間の同期、同期解除の制御も可能。 省配線サーボ（パナソニック社RealtimeExpress）対応。
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