表面電荷分析装置
表面電荷分析装置は、半導体前工程管理とりわけ熱酸化膜、ＣＶＤ膜形成、メタライゼーション、洗浄及びエッチングなどプロセス中に生じた汚染とダメージのモニタリングに最適です。
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基本情報
ウェハー表面電荷量及び界面準位密度の測定 ■酸化膜工程 ・ウェハー汚染やプラズマ損傷による酸化膜中 電荷量の変化 ・熱ストレス等による界面準位密度の変化 ・窒化酸化膜中の固定電荷モニター ■洗浄工程管理 ・ウェハー洗浄後の表面状態の電荷量チェック ■ＣＶＤ工程管理 ・膜中トラップ電荷状態のチェック
価格情報
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納期
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用途／実績例
■非破壊リアルタイムプロセスモニター ・工程管理直後測定可能 ・電極形成不要 ・モニターウェハーの再生使用可能 ・高速測定 → ＜ １点／分 ・簡易操作
企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。