非接触でエピウェハの抵抗率をモニター可能！
QC2500シリーズは、非接触でエピタキシャルウェハーの抵抗率をモニターすることができます。測定原理としてサーフェイスフォトボルテージ（ＳＰＶ）法を用いてウェハー上にパルス光を照射することによりウェハー表面電位変化を検出し、空乏層幅を測定します。強反転状態の空乏層幅が不純物濃度に比例することにより、不純物濃度測定を行い、抵抗率に換算（ASTM)します。
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基本情報
■特徴 ■非破壊・非接触測定 モニター ・モニターウェハー不要 ■ウェハー表面処理装置内臓 ・ＵＶ＋コロナチャージ 及び ＲＯＳＴによる測定前の表面処理が可能 ■高スループット ・測定スピード／ １ポイント ０．１秒
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納期
用途／実績例
非接触でエピタキシャルウェハーの抵抗率をモニターすることができます
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| QCS2500 |
企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。