半導体産業や高純度ガスを扱うアプリケーションに。特許取得メタル/メタルシール機構により、長期のリークタイトネス保証！
メタルシール デジタル・マスフロー/プレッシャメータ/コントローラのご紹介です。 機器は高品質な表面仕上げで、モジュールコンセプト構造のメタルシールですから長期間のリークタイトネスを保証します。 本機は高精度・すばらしい温度性・及び高速応答を有するＰＣボードを備えています。 最新のEL-FLOWシリーズはマルチガス/マルチレンジ機能も加わり、さらに(OEM)顧客へそのアプリケーションにおいて最適なフレキシビリティーとプロセス効率を提供します。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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基本情報
【特長】 ●特許取得メタル/メタルシール機構により長期のリークタイトネス保証(対大気) ●エレクトリックポリッシュ接ガス部品 ●高速応答、高繰返し性 ●流量レンジ：0.1...5sccm～0.6...100 slm N2ベース(ご要求により高流量可能) ●マルチガス/マルチレンジ機能 ●低圧損、又は真空適用可能(オプション) ●プレッシャーメータ/コントローラレンジ：0.1...5～18...900 psi ●サーフェースマウント可能(オプション) ●RoHS対応 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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企業情報
1981年以来ブロンコスト・ハイテック( Bronkhorst High-Tech B.V. )は、サーマルとコリオリ式マスフローメータ/コントローラの分野で広範囲に渡る製品群を提供し続けています。数多くのタイプの標準的、又はカストマイズされた計測機器がR＆D分野、種々の工業分野又は危険場所でのアプリケーションにご利用いただけています。