カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。
カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。 1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スロープットを実現。 25枚の収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後、検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。
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基本情報
【特長】 1. エッジ部3面の同時検査可能 2. 欠陥と異物の識別機能 3. トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現 4. オリフラ部を含めた全集検査が可能 5. ウエハ全周撮像と欠陥部レビューファイル機能 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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