オートフォーカスでワークの厚みや反りにジャストフォーカスで検査します！
ウエハ・マスクなど各種素材の表面の顕微鏡検査を高精度・高速に全自動検査するリアルタイムイメージング顕微鏡です。 光学顕微鏡の限界に迫るナノの解像力、高解像カラーカメラでLIVEレビューする世界最速・最高分解の自動検査顕微鏡です。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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基本情報
【特長】 1. オートフォーカスでワークの厚みや反りにジャストフォーカスで検査します。 2. 検査ワークの形状を画像識別して検査エリアや検査条件を設定できます。 3. Dalsaラインカメラが高速/高解像で全面スキャンして欠陥をマップ表示します。 4. 欠陥画像レビューとカラーカメラ欠陥位置を再現してライブ検査ができます。 5. 欠陥検査以外にパティクル検査やパターン検査に対応します。 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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新技術の製造・開発をサポートする検査機の試作・自動機・オンライン機をあなたのアイデアとご希望に合わせ一緒に考え製作します。 受注製品のハード・光学系・ソフトの設計および製作メンテナンスからアフターサービスまで提供します。
