ＲＦ電源からプロセスチャンバー間の高周波同軸接続箇所において、ワンタッチ接続且つ、組立時の再現性にもっとも有効とされる接続です！
製造装置の種類の中でもエッチャーやＣＶＤ等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット（ＲＦ電源～マッチングボックス～プロセスチャンバー等）を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時の脱着において再現性やインピーダンス整合が重要な箇所であります。 その中で高周波接続部において弊社コンタクトスプリングを装着した高周波同軸コネクタを採用された装置がトップメーカーに多く使用されております。 また、コンタクトスプリングは安定した多面接触を可能とし、作業者が変更した場合でも安定した接触をワンタッチにて接続できることから、満足頂けるコネクタを提供させて頂いております。また、一般市販品においてはお客様の必要な容量や形状を万足するコネクタがないことが多々御座いますが、ＮＢＳではご要望に応じた大容量同軸コネクタを提供させて頂いております。
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基本情報
製造装置の種類の中でもエッチャーやＣＶＤ等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット（ＲＦ電源～マッチングボックス～プロセスチャンバー等）を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時の脱着において再現性やインピーダンス整合が重要な箇所であります。 その中で高周波接続部において弊社コンタクトスプリングを装着した高周波同軸コネクタを採用された装置がトップメーカーに多く使用されております。 また、コンタクトスプリングは安定した多面接触を可能とし、作業者が変更した場合でも安定した接触をワンタッチにて接続できることから、満足頂けるコネクタを提供させて頂いております。また、一般市販品においてはお客様の必要な容量や形状を万足するコネクタがないことが多々御座いますが、ＮＢＳではご要望に応じた大容量同軸コネクタを提供させて頂いております。
価格情報
要相談 ご要望の仕様により価格が異なりますので、お気軽にご相談ください。
納期
※仕様や数量によって変動しますので、お気軽にご相談ください。
用途／実績例
半導体製造装置（エッチャ－、ＣＶＤ等）、ＦＰＤ用製造装置、ＰＶ用製造装置、ＲＦ電源、マッチングボックス、研究開発品等
カタログ（2）
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企業情報
１．コネクタに装着されるコンタクト以外は国内製造であるため、スピード供給が可能。 ２．表面処理・接触力等の独自ノウハウによってメーカー標準品より性能UPが可能。 ３．特注品も１個からの供給が可能であるため採用検討時のコストが安い。 電気スペックにおいては5A〜7500Aの通電を可能とし、使用温度-273度〜680度の環境下でも対応可能なコンタクトをご用意しております。導体の金属ボディは全て国内生産であり、形状については様々なニーズに対応が可能であります。メカニカルな電気接続においても、回転・スライド・防塵・防水・水中・ロック機構等のご相談も承ります。
