ウエハーの超鏡面研磨の時と同じ効果でコンタミ除去が出来ました。
プレス打ち抜き加工品のコンタミ除去に対しご相談が有りました。問題はバリ取り工程で出たコンタミが製品に強く付着しているもので、洗浄除去装置に通しても落ちないものが有るとのことでした。中性洗剤を使用しているとのことだったので小型のOKノズルOKE－MB07FJ（20L/min）を使用しました。 500Ｌタンクに中性洗剤が入った洗浄液は最初から白濁していて、マイクロバブルの発生状況が分からないので、エアーの自吸量を変えて実験し、最も洗浄が良い自吸量を選定したところ、ウエハーの超鏡面研磨の時と同じ効果が得られました。今回の洗浄もシャワーリング、ブラッシングによってマイクロバブルが破裂し、その破壊力効果によって剥離洗浄ができているようです。 マイクロバブル発生の方法は、500Ｌタンク内で水中ポンプを使用しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○ウエハーの超鏡面研磨の時と同じ効果でコンタミ除去 ○小型のOKノズルOKE－MB07FJ（20L/min）を使用 ○エアーの自吸量を変えて実験し、最も洗浄が良い自吸量を選定 ○シャワーリング、ブラッシングによってマイクロバブルが破裂し、 その破壊力効果によって剥離洗浄 ○マイクロバブル発生の方法は、500Ｌタンク内で水中ポンプを使用 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
本業は自動車部品等を加工する専用工作機械の設計です。マイクロバブルは2000年から研究しています。2006年、ループ流式マイクロバブル発生ノズルを開発。特許を申請し2008年5月に公開されました。2008年春からオゾンマイクロバブルシャワー装置を販売している会社に特殊タイプを供給しています。一般販売は2009年から始めました。
