ＵＨＶ環境下で極微量ガスの導入が可能。 英国オックスフォードアルライドリサーチ社製、ナノサイエンス・表面科学の方は必見☆
ＵＨＶの装置に適合したオールメタルのリークバルブで、ピエゾ素子を用いて制御します。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
このリークバルブは内蔵されたピエゾ素子に電圧を印加し、そのピエゾ素子の歪みを利用して流量をコントロールします。
価格情報
＊＊＊＊＊ お気軽にお問い合わせください。
納期
※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
詳しくは「イプロスを見た」とお問い合わせください。 ただ今、HPがリニューアル中ですのでこちらからお問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
Vacuum Part 真空ポンプ・真空計・真空バルブ・金属ベローズ・各種フランジ・電流導入端子 Vacuum Unit 真空装置の開発・設計・製造・改造・修理・メンテナンス Vacuum Processing 真空チャンバー・排気配管・特殊精密加工 真空のトータルプロバイダーをしております！