真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能！今まで困難だった圧力分布が測定できます。
「マイクロハクマク圧力センサ」は超小型・堅牢な設計で、真空設備環境内へ設置でき、今まで測定できなかったところで壓力測定が可能になります。最適な設備環境への改善・監視に結びつき、製品の高品質化、歩留まりの向上を通して低炭素化（環境負荷の低減）が達成できます。 【測定できなかったところでの 測定が可能に！】 ■真空環境内へ設置でき、ピンポイントで圧力の状態・変化を測定可能。 ■センサを複数設置でき、圧力の分布が測定可能。 【見えなかったところが可視化できます！】 ■ガスの状態（流れ・量）が見える。 ■装置内の状態が連続的に見える。 ■シミュレーション結果が見える。 【高品質化、歩留まりの向上を通して低炭素化が達成できます！】 ■真空装置、生産設備を最適な状態に改善、最適状態を常時確認できる。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
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基本情報
【特長】 ■真空環境内へ設置可能 ■複数設置で圧分布測定が可能 ■広領域で測定（0.005Pa～大気圧） ■高速応答100msec ■最大32チャンネルまでシステム構築 ■耐振動・耐環境性 真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。 例１：真空蒸着装置の対象物前後に設置 例２：スパッタリング装置の対象物近傍へ設置 例３：真空成形装置の金型近傍へ設置 例４：真空チャンバー内へ複数設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
価格情報
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納期
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用途／実績例
例１：真空蒸着装置の対象物前後に設置 例２：スパッタリング装置の対象物近傍へ設置 例３：真空成形装置の金型近傍へ設置 例４：真空チャンバー内へ複数設置…
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企業情報
私たちは創業以来、計測器メーカーとして、 真空計測や環境測定一筋に取り組んでまいりました。 この豊富な経験を活かし、技術力の追求はもとより、 お役様へのスピーディー＆モア・フレキシブルな対応こそ、 最重要な課題であると考えています。
