クリーンエスＺ除害筒を機能付のBOX内に収納しシステムとして安全に使用
シリコン系ドライエッチング湿式廃ガス除害装置「クリーンエスF100」は、クリーンエスＺシリーズ除害筒を機能付のBOX内に収納し、システムとして安全に使用できます。（圧力検知バイパスシステム、色相検知システム、ヒーティングシステム、重量検知システム等）処理対象ガスは、HBr・HF・SiF4・SF4・HCL等です。薬液交換方式として薬液の破過検知はPHの連続測定により行い、終点に達した場合警報にてお知らせする終点（破過）検知システムを採用しています。セミオートマチック方式により工具を使用せず容易、安全に交換できます。抜き出した古い薬液は返却していただきますと責任をもって処理いたします。新しい薬液は返却いただいた容器に充填し送還する安全な交換システムです。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○酸性ガスは中和反応により除去 ○吸収塔で薬液により廃ガスを反応吸収 ○酸化性ガスは還元反応により除去 ○使用する吸収液は1,2の能力を兼ね備えたもの ○特殊な触媒、塩基性水溶液等を加え廃ガス吸収に対して最適条件を選び調整したものを使用 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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