超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60μmがございます。
精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク（加工対象物）を高速・高精度に位置制御できます。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に用いて精密金型加工が実現できます。 ■防塵防滴の対策 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切り屑などの浸入も防ぎます。 ■堅牢な本体 加工時の安定性を確保するため本体材質として鋼材を使用。 ビビリ振動や切削負荷などにより加工精度を損なうことのない堅牢な本体構造となっています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○防塵・防滴対策 ○大発生力圧電素子 ○高剛性 【仕様】 ○PU1H80F-030U →ストローク：30nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：2200Hz →本体サイズ：90×80×35mm ○PU1H150F-060U →ストローク：60nm →分解能：2nm →繰り返し精度：±2nm →共振周波数：650Hz →本体サイズ：150×150×40mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途例】 ダイヤモンドバイト送り 微細切削、研削加工 高速工具制御 ワーク位置決め 精密金型加工 高荷重物の精密位置決め ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
