テーブル面が傾斜するタイプのステージです。傾斜の向きが異なる２種類がございます。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○様々な角度調整が可能 ○高速・高精度スキャニング動作 ○コンパクトで装置組込が容易 【仕様】※傾斜の向きが異なる２種類がございます ○PT1T60-500S →ストローク：500nm →分解能：0.01nm →繰り返し精度：±0.01nm →共振周波数：1700Hz →本体サイズ：60×60×30mm ○PT1T38-1000S →ストローク：1000nm →分解能：0.02nm →繰り返し精度：±0.02nm →共振周波数：1090Hz →本体サイズ：85×38×32mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途例】 レーザ光軸調整 精密平行面合わせ 光学デバイス微小角調整 チルト調整 キャビティ長調整 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。