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【ピエゾステージ】PF対物レンズフォーカスタイプ 縦型

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最終更新日:2023年05月24日

THKプレシジョン株式会社
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対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。

超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ縦型です。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

    その他機械要素
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【ピエゾステージ】PF対物レンズフォーカスタイプ 縦型

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基本情報

【特長】 ○対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプ ○レンズの高速応答性を重視した高剛性仕様の縦型 ○各メーカの対物レンズが取付可能 ○高速、高精度フォーカス 【縦型製品ラインアップ】 ○PFVC**-100U →ストローク:100nm →分解能:2nm →繰り返し精度:±2nm →共振周波数:1000Hz →本体サイズ:65×40×50.5nm ○PFVW**-100U →ストローク:100nm →分解能:2nm →繰り返し精度:±2nm →共振周波数:750Hz →本体サイズ:71×49×50.5nm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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用途/実績例

高速フォーカス 画像処理機器 共焦点顕微鏡 レーザ加工 半導体、FPD装置 干渉計形状測定

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ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。

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